半導体製造装置
半導体製造工程では、検査装置やチップハンドリング装置などでも減速機が使用されます。装置設計時、お客様は当初ロボットアームの動作速度を上げたいと考えていましたが、回転軸のトルクを犠牲にする必要がありました。しかし、これでは設備の故障が発生しやすく、スタッフの安全を確保することが困難になります。
業界の説明
半導体とは、室温で導体と絶縁体の間に導電性を有する材料を指します。半導体は、ラジオ、テレビ、温度測定など幅広い用途に使用されています。ダイオードは半導体で作られたデバイスです。半導体とは、絶縁体から導体まで、導電性を制御できる材料を指します。半導体装置には、レーザーマーキング機、レーザーコーディング機、包装機、純水機などが含まれます。
半導体製造工程では、検査装置やチップハンドリング装置などでも減速機が使用されます。装置設計時、お客様は当初ロボットアームの動作速度を上げたいと考えていましたが、回転軸のトルクを犠牲にする必要がありました。しかし、これでは設備の故障が発生しやすく、スタッフの安全を確保することが困難になります。
レーザーコーディング機
パッカー
純水製造機
レーザーコーディング機
アプリケーションの利点
RV精密減速機は他の減速機に比べ高トルク、コンパクトな容積を持ち、装置本体の小型化が可能です。半導体機械装置に特化したRV減速機は、オペレータの作業領域の拡大と安全性の向上に貢献します。
さらに、サーボ電動シリンダーを半導体装置に応用する利点は非常に明白です。半導体メカニカルRV減速機とサーボ電動シリンダは、低騒音、環境に優しく省エネ、高剛性、耐衝撃性、長寿命、操作・メンテナンスが容易という特徴を持っています。同時に保護レベルはIP66に達しており、過酷な環境でも故障なく長期運用が可能です。
要件を満たす
半導体プロセスの分野では、半導体製造装置にはスパイラルベベルギヤの高精度サーボ減速機に対する非常に厳しい要件があることが実際に証明されています。
半導体装置のアプリケーション要件:
半導体装置における高精度位置決め、高い減速比、90度反転などの応用では、まがり傘歯車減速機には高い減速比と高精度が求められます。